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干式真空泵

  • 产品名称: 干式真空泵
  • 产品分类: 干式真空泵
  • 公司名称: 山东螺杆真空泵有限公司
  • 添加时间: 20/10/14
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  干式真空泵
  干式真空泵的种类
  双圆裂片式
  双圆裂片式设计和目前流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上,一些早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
  三叶圆裂片式
  三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力—下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。
  组合式(罗茨+爪)
  组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其后一级改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样,在很多工艺中,组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用。
  外部压缩型螺杆式
  在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到小,同时使得气体通路短也简单。这样,气体在泵体内停留的时间也短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中表现出高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。
  内部压缩型螺杆式
  除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。
  干式真空泵的构造
  1、螺杆式
  在螺杆式紧缩机中,转子的圈数在一圈以内,而螺杆真空泵的圈数那样在2圈以上,这样可增加返流量,进步紧缩比,单级泵可从大气压抽到1Pa的极限压力,抽速爲60~120m3/h。
  2、矩方式
  有矩形断面的右和左的一对转子相啮合,由同步齿轮带动完成非接触式的高速运转,气体由上侧进入,在泵腔内紧缩由转子下端扫除,转子旋转一周排气一次。转子和泵体内外表构成一种密封构造,矩形断面间隙走漏较少,故可失掉较高的紧缩比,泵的紧缩比和抽速与转子的导角,转子与泵体的间隙的啮合率,圈数,转子直径和旋转速度等要素有关。由于它的圈数多,比上述螺杆式的紧缩比高,而抽速低,这种泵可从大气压抽到极限压力10-1Pa,抽速爲40~80m3/h的泵有市售。



点击次数:   更新时间:20/10/14 17:25:10   【打印此页】   【关闭
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